仪器型号：Sigma500。
功能介绍：蔡司 Sigma500肖特基场发射扫描电镜，其专利的 GEMINI 镜筒，采用先进的肖特基场发（SFE）源，内置电子束推进器（beam booster）和 In-lens 二次电子探测器，Gemini 物镜的设计结合了静电透镜和磁透镜，使对极具挑战的样品也能进行高品质成像，beam booster 技术具有镜筒内的电子加减速功能，可确保获得小束斑和高信噪比。Gemini 镜筒内探测器的设计可实现信号的高效采集，有效缩短了成像时间。配置Bruker双探头能谱仪，高计数而不需增加束流，尤其适合低计数和束敏感样品。
技术参数/性能指标：
l 二次电子分辨率：0.8nm@15kV、1.3nm@1kV（减速模式下）
l 电子束加速电压：0.02~30kV，步进10V，连续可调
l 五轴优中心马达驱动样品台：移动XY方向最大移动范围：X=130mm，Y=130mm；R=360°（旋转）样品台Z方向最大移动范围：Z=50mm，双向倾斜，倾斜范围-4~70°
l 单张图片最大图像存储分辨率：32k*24k像素
l 能谱仪能量分辨率Energy resolution：129 eV Mn Kα，58 eV C Kα，66 eV F Kα
l 元素面分布分辨率：4096×4096
测试项目：样品高分辨形貌成像、磁性样品拍摄、样品元素分析等。
仪器状态：开放共享
预约平台：http://atc.zicat.cn
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